生产太阳能电池片的刻蚀
作者:业奇农业网
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更新时间:2025-03-11 23:27:18
刻蚀若采用的干法等离子刻蚀,容易刻的过宽,破外表层周边的P-N结,降低最终效率,同时等离子刻蚀会造成周边的崩边点,造成碎片率高;用激光去边的话因为在背面操作,不会造成什么危害;去PSG用只用传统的HF方式时,浸泡时间太长容易方阻略偏大,以及周边发黑,短时间内不会有问题;用HF/HNO3腐蚀会因为有HF或HNO3的蒸汽会对表层腐蚀,形成表层方阻变大。
干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。
氨化铝测XPS需要刻蚀的时间不是固定的,具体需要刻蚀的时间取决于氨化铝表面的厚度以及实验条件的设置。
一般来说,氨化铝的刻蚀速率是比较缓慢的,通常需要数十分钟到几个小时的时间。在刻蚀氨化铝之前,需要对其表面进行清洗和处理,以保证得到准确的测试结果。
为了减少刻蚀时间,可以采用更加强效的刻蚀剂或者提高刻蚀的温度和压力等实验条件。但是需要注意的是,过度刻蚀可能会对样品造成损伤,导致测试结果出现误差。
总之,具体的刻蚀时间需要根据实验条件和样品情况进行调整,以保证测试结果的准确性和可靠性。
答案:湿法刻蚀 干法刻蚀
解析:湿法刻蚀工艺的优点是设备简单,刻蚀速率高,选择性高。但是,有许多缺点。湿蚀刻通常是各向同性的,干法蚀刻的成本更低。干法蚀刻的一个例子是等离子体蚀刻。干法蚀刻技术的特点是它们具有较高的各向异性
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