往磁控溅射腔内通入氢气，并进行射频溅射，这样会爆炸吗？反应溅射的设备和普通磁控溅射的设备不同吗？
未必一定会爆炸，但比较危险。
因为你很难保证充入的是纯氢气，如果遗留或混入一些空气（里面有氧气），那么就很可能在拉电弧的时候发生爆炸！——因为氢氧爆炸的混合比范围是很宽的。
另外，一般是充氩气，利用它的导电性来帮助拉起电弧，同时减轻真空度的要求（同时这些惰性气体不容易爆炸——即使在电弧作用下）。但充氢气的话，它的导电性是很差的，而危险性很高。
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